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首页标题    热解beplay2坩埚PBN坩埚    MBE坩埚
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MBE坩埚

分子束外延(MBE)法是生产砷化镓外延片的方法之一,该法可制出多元、多层、同质、异质、超晶格和量子阱等结构的外延材料。晶体纯度高,化学稳定性好。
主要特点:
1. 可制作大规格坩埚(最大直径12inch,最大高度17inch);
2. 密度高(最高可达2.2g/cm3);
3. 纯度高(>99.99%);
4.不易开裂(层间强度高)。
产品应用
主要用于MBE法合成半导体单晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物。

 

PBN性能参数表

Properties(属性)
Units(单位)
Values(数值)
Density(密度)
g/cm3
1.95-2.20
Tensile Strength(抗拉强度)
MPa
112
Bending Strength(弯曲强度)
MPa
173
Compression Strength(压缩强度)
MPa
154
Young's Modulus(杨氏模量)
GPa
18
Thermal Conductivity(导热系数)
W/m°C
"a" 60  "c" 2
Specific Heat(比热)
J/g·℃
0.90(RT)
Resistivity(电阻率)
Ω.cm
2×1015
Dielectric Strength(介电强度)
D.C. volts/mm
2x1015
Dielectric Constant(介电常数)
 
"c" 3.07
Metal Impurity Content(金属杂质含量)
ppm
<10